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クリーン・真空ロボット

安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-M101（XU-RC350S-C03）
安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-M101（XU-RC350S-C03）お問合せ 仕様 特長 用途
仕様
  • 当社独自の構造により、搬送制度を向上させると同時に高速で滑らかな搬送を実現
  • 原点復帰不要
  • 全軸ACサーボを採用
 
  • スーパークリーンルームでのウエハ搬送
 
安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-M201（XU-RC350D-C03）
安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-M201（XU-RC350D-C03）お問合せ 仕様 特長 用途
仕様
  • ダブルアームで、プロセス前後のアームの使い分けや高スループットを実現
 
  • スーパークリーンルームでのウエハ搬送
    •  
    安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-M122（XU-RC400M-D03）
    安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-M122（XU-RC400M-D03）お問合せ 仕様 特長 用途
    仕様
    • 2FOUPに対応可能な先端回転軸付きアームと2枚のブレードにより、搬送効率の向上に貢献
    • デュアルブレード機構により、シングルアームでダブルアーム相当のスループットが達成可能
     
    • スーパークリーンルームでのウエハ搬送
     
    安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-V10D（XU-RV960D6）
    安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-V10D（XU-RV960D6）お問合せ 仕様 特長 用途
    仕様
    • 真空中で最大400×500mmサイズのガラス基板を搬送・移載することが可能
    • 高剛性設計と高性能制御により、低振動高精度位置決めを実現
     
    • 真空環境下の各プロセス処理室間で、ガラス基板の搬送・移載
    • 有機EL完成ガラス基板の搬出
     
    安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-V20D（XU-RV800D6）
    安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-V20D（XU-RV800D6）お問合せ 仕様 特長 用途
    仕様
    • 真空中で最大460×730mmサイズのガラス基板を搬送・移載することが可能
    • 高剛性設計と高性能制御により、低振動高精度位置決めを実現
    • 真空内ベルト駆動を採用していないため、低放出ガス性能を実現
    • アーム内に基板有無センサ用配線を内蔵可能
  • 真空環境下の各プロセス処理室間で、ガラス基板の搬送・移載
  • 有機EL完成ガラス基板の搬出
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    安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-V35S-G4A（XU-RV1230S6）
    安川ブルックスオートメーション：SEMISTAR-V35S-G4A（XU-RV1230S6）お問合せ 仕様 特長 用途
    仕様
    • 真空中で最大730×920mmサイズのガラス基板を搬送・移載することが可能
    • アーム部にリンク機構を採用することにより高剛性を実現
    • 真空内ベルト駆動を採用していないため、低放出ガス性能を実現
    • アーム内に基板有無センサ用配線を内蔵可能
  • 真空環境下の各プロセス処理室間で、ガラス基板の搬送・移載
  • 有機EL完成ガラス基板の搬出
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